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廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵

滑閥式真空泵市場(chǎng)

　　國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠(chǎng)都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場(chǎng)，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲，噴油和漏油，提高滑閥泵長(cháng)期運行的可靠性。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵維修問(wèn)題

分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？

　　答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要儀器和特定的測試環(huán)境

分子泵是否對冷卻有明確要求？如風(fēng)冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會(huì )出現何后果？

　　答：注意水溫和水流量，冷卻不良會(huì )導致無(wú)故停機、碎泵、油變黑等。

分子泵電源存在接地、屏蔽等問(wèn)題，應如何做才是佳方式？

　　答：電源本身有接地線(xiàn)，只需要保證市網(wǎng)有良好接地就可以了；屏蔽主要是指對強磁場(chǎng)和強輻射的屏蔽。

頻器電源，轉速上升過(guò)程中就自動(dòng)關(guān)機，即顯示“Poff”？

　　答：原因：電壓低

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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分子泵市場(chǎng)

　　分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復合分子泵和牽引泵作為主泵。

　　由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(cháng)。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著(zhù)我國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開(kāi)發(fā)各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。

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油池安裝注意事項　?、?、拆油

　?、?、油量控制

　?、?、油池衛生，防顆粒

　?、?、對好、對稱(chēng)上緊螺釘，防止有漏

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵

安捷倫科技的真空產(chǎn)品涉及從科研到工業(yè)的眾多應用領(lǐng)域，包括高能物理，半導體工藝，化學(xué)，物理分析，以及真空鍍膜，熱處理等眾多的工業(yè)應用。產(chǎn)品主要包括：機械泵、渦旋式干泵、分子泵、離子泵、擴散泵、氦質(zhì)譜檢漏儀、閥門(mén)、真空測量及配件等。無(wú)論是用于研發(fā)的靈活可靠的系統，還是用于常規工業(yè)真空加工的熱處理系統，或適合在車(chē)間中實(shí)時(shí)檢測泄露的快速耐用的便攜解決方案，安捷倫都可提供相應的解決方案。

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安捷倫 HLD 氦質(zhì)譜檢漏儀專(zhuān)為簡(jiǎn)便易用和優(yōu)化性能而設計，其預置了 6 個(gè)應用設置，每個(gè)應用可設置 3 組報警值，通過(guò)簡(jiǎn)擇，即可完成應用設置或者在不同應用間切換。對于大多數常見(jiàn)應用（吸、氦氣噴、高靈敏度和自動(dòng)排序器等），用戶(hù)可以訪(fǎng)問(wèn)合適的應用界面并按照向導正確設置參數，如此便避免了時(shí)間的浪費或造成嚴重錯誤的可能。